This paper reports on Si3N4/SiO2 multilayer waveguides to increase the optical confinement factor and, as consequence, to reduce optical losses.

Optical characterization of silicon nitride low-loss waveguides in the near infrared range

Daldosso, Nicola;
2005

Abstract

This paper reports on Si3N4/SiO2 multilayer waveguides to increase the optical confinement factor and, as consequence, to reduce optical losses.
Silicon nitride; waveguides; multilayers
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