Structural and functional characterization of W-Si-N sputtered thin films for copper metallizations / VOMIERO A.; FRABBONI S.; BOSCOLO MARCHI E.; QUARANTA A.; DELLA MEA G.; G. MARIOTTO; FELISARI L.. - STAMPA. - 812(2004), pp. F.3.10.1-F.3.10.6. ((Intervento presentato al convegno MRS - Spring Meeting 2004 tenutosi a San Francisco (CA) [USA] nel 12- 16 Aprile 2004.
Titolo: | Structural and functional characterization of W-Si-N sputtered thin films for copper metallizations |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2004 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11562/242945 |
Appare nelle tipologie: | 04.01 Contributo in atti di convegno |
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