Deep-UV lithography fabrication of slot waveguides and sandwiched waveguides for nonlinear applications

Jordana, E.; Fedeli, J.-M.; Lyan, P.; Colonna, J.P.; Gautier, P.; Daldosso, N.; Pavesi, L.; Lebour, Y.; Pellegrino, P.; Garrido, B.; Blasco, J.; Cuesta-Soto, F.; Sanchis, P.

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Slot and sandwiched waveguides with silicon nanocrystals were fabricated by means of industrial microelectronic tools, including DUV lithography. Low loss of 4 dB/cm will pave the way to compact all-optical XOR logic gates.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11562/477088

Titolo:	Deep-UV lithography fabrication of slot waveguides and sandwiched waveguides for nonlinear applications
Autori interni:	Daldosso, Nicola
Data di pubblicazione:	2007
Rivista:	IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS
Abstract:	Slot and sandwiched waveguides with silicon nanocrystals were fabricated by means of industrial microelectronic tools, including DUV lithography. Low loss of 4 dB/cm will pave the way to compact all-optical XOR logic gates.
Handle:	http://hdl.handle.net/11562/477088
Appare nelle tipologie:	01.01 Articolo in Rivista

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