Deep-UV lithography fabrication of slot waveguides and sandwiched waveguides for nonlinear applications

Jordana, E.; Fedeli, J. M.; Lyan, P.; Colonna, J. P.; Gautier, P.; Daldosso, Nicola; Pavesi, L.; Lebour, Y.; Pellegrino, P.; Garrido, B.; Blasco, J.; Cuesta Soto, F.; Sanchis, P.

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Slot and sandwiched waveguides with silicon nanocrystals were fabricated by means of industrial microelectronic tools, including DUV lithography. Low loss of 4 dB/cm will pave the way to compact all-optical XOR logic gates.

Titolo:	Deep-UV lithography fabrication of slot waveguides and sandwiched waveguides for nonlinear applications
Autori:	E. Jordana J. M. Fedeli P. Lyan J. P. Colonna P. Gautier Daldosso, Nicola L. Pavesi Y. Lebour P. Pellegrino B. Garrido J. Blasco F. Cuesta Soto P. Sanchis mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2007
Rivista:	IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS
Abstract:	Slot and sandwiched waveguides with silicon nanocrystals were fabricated by means of industrial microelectronic tools, including DUV lithography. Low loss of 4 dB/cm will pave the way to compact all-optical XOR logic gates.
Handle:	http://hdl.handle.net/11562/477088
Appare nelle tipologie:	01.01 Articolo in Rivista

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