Evolution under annealing of structural properties of W-Si-N sputtered diffusion barriers

MARIOTTO, Gino;
2004-01-01

2004
W-Si-N thin films; reactive sputtering deposition; vibrational spectroscopy
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11562/232163
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact